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机械泵入口隔离阀
安装于机械泵入口的电磁压差式充气阀，防止突然断电对系统真空的破坏。 阀门为常闭型电磁压差阀，通电阀门开启，断电自动关闭。 前级真空泵（油泵和干泵）意外断电，快速起到隔离作用，经济实惠的阀门。 接电电压为220VAC
ULVAC爱发科晶振片
UCR晶振片具有出色的成膜过程中的温度特性、辐射热导致的速率波动更小，更高的重现性。
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