MKS 972B冷阴极真空计
测量范围:1.0*10-8 to 760 Torr; 冷阴极与皮拉尼组合。
MKS 925真空压力传感器
压力测量范围:1.0 *10-5 to 760 Torr; RS232数字通信接口。
MKS 901P Loadlock真空压力传感器
901 Plus(901P)Loadlock传感器(LLT)专为LOADLOCK环境而设计,结合了压电和Micro-Pirani™真空传感器技术。 与传统的热导率计相比,组合输出提供了更高的精度、稳定性、可重复性和更快的响应时间。 绝对压力测量范围为1000至10-5Torr 单个传感器具有3个传感器功能,可实现宽测量范围 模拟、RS232、RS485和EtherCAT®版本 可选的集成触摸屏显示器可用于本地压力指示 快速、准确和可重复的压力测量缩短了工艺周期时间 三个可选设定点,响应时间快,可实现可靠的过程控制 备注:***供方保证提供MKS原厂全新正品,不提供现场技术服务;购买前请看清备注并谨慎做决定***
MKS PR4000B数字电源显示器
PR4000B是一个数字电源和显示模块。它有一个或两个通道可供选择,标配4.5位背光液晶显示器。 这两个版本都支持内部或外部设定点和主/从控制方案。 单通道版本可以控制一个Baratron®压力传感器或一个Mass-Flo®流量计或控制器。 双通道版本最多支持两个压力传感器或两个质量流量控制器或各一个。 压力传感器的工程单位可由用户选择为Torr、mTorr、kTorr、Pa、kPa、cmH2O、psi、N/qm、ìbar、mbar和bar;sccm、scm、slm、scfm、scfh用于流量计或控制器,V、%和°C。 数字RS232接口标准;双通道型号可选RS485接口 压力传感器和流量装置的用户可选工程单位 设置和操作简单的菜单驱动。 备注:***供方保证提供MKS原厂全新正品,不提供现场技术服务;购买前请看清备注并谨慎做决定***
MKS 902B绝对压电真空压力传感器
基于MEMS的压电传感器的压力测量技术与金属密封的不锈钢316隔膜和集成电子器件相结合. 低成本传感器,测量范围为0.1至1000托 固态压电传感器可抵抗空气涌入和振动的损坏 坚固的设计和不锈钢结构,适用于恶劣的工艺 独立于气体的压力测量,用于精确的压力测量 紧凑的系统设计,将电子设备和传感器集成在一个单元中 可安装在任何方向,便于安装 备注:***供方保证提供MKS原厂全新正品,不提供现场技术服务;购买前请看清备注并谨慎做决定***
MKS 274 Bayard-Alpert电离裸规
Granville Phillips®MKS 274经济划算的BA型热阴极电离真空计(裸规) 单钍涂层铱丝真空计和双灯丝UHV真空计。 笼式格栅或无下垂双线格栅 耐烧灯丝或双钨丝 电阻加热或电子轰击脱气 可更换灯丝 与标准电连接器配合使用 备注:***供方保证提供MKS原厂全新正品,不提供现场技术服务;购买前请看清备注并谨慎做决定***
MKS 370 Stabil Ion®热阴极电离真空计
Granville Phillips®370 Stabil Ion®Bayard-Alpert真空计最精确的Bayard-Albert式热阴极电离真空压力计.采用全金属计量管,消除了玻璃破裂、玻璃分解或氦气渗透。完整的静电屏蔽和接地金属计量管外壳提供了稳定的电气环境,并屏蔽了外部电气影响。 用于10-11Torr范围内精确真空测量的电离计 Convertron Gauge选项将压力测量扩展到大气 Stabil-Ion控制器具有带有校准数据的存储模块 超清洁的仪表结构可在泵抽过程中快速响应 双灯丝增加设备正常运行时间 备注:***供方保证提供MKS原厂全新正品,不提供现场技术服务;购买前请看清备注并谨慎做决定***
MKS 275 Convertron®皮拉尼真空计
Granville Phillips®275 Convertron®Pirani真空计35年来一直是世界标准的对流增强型皮拉尼真空计,用于数千种真空工艺,可精确测量从大气压到10-4Torr的压力。为了确保最高水平的精度和量具之间的再现性,每个Convertron量具在工厂都经过单独校准,从而不需要进行控制器调整。 从大气压到1x10-4托的宽真空压力测量范围 单独校准的仪表可确保最高的测量性能 在空间受限的地方易于安装 温度补偿抵消了环境温度变化的影响 多种真空配件可简化真空系统的安装 备注:***供方保证提供MKS原厂全新正品,不提供现场技术服务;购买前请看清备注并谨慎做决定***
MKS 356Micro-Ion®Plus真空压力传感器
测量范围从高真空扩展到大气压 双离子计灯丝可延长设备正常运行时间 两个用于安全联锁的跳闸点继电器 设置和诊断中的可选本地显示辅助工具 提供带模拟输出或DeviceNet™数字接口的RS-485 备注:***供方保证提供MKS原厂全新正品,不提供现场技术服务;购买前请看清备注并谨慎做决定***