Swagelok通气阀
通气阀可用于将腔室向大气排放,或作为气体进口以实现腔室的充气。 通气阀安装于KF和CF法兰上,采用波纹管密封的手动操作阀设计。
VAT 59.0全金属可变漏阀
超高真空全金属可变泄漏阀可以精确控制极小的气流(1 × 10-10 mbar ls-1 至 500 mbar ls-1)。该系列阀门采用全金属设计,是满足超高真空和极端超高真空工艺中气体计量要求的理想选择。 59.0 系列的特殊控制功能确保可重复的精确气流设置,增强了过程控制能力。其还能在整个使用寿命内提供可靠的密封关闭,不会出现任何密封疲劳风险。 此外,59.0 系列采用全金属设计(高级不锈钢阀体和镀金不锈钢薄膜闸封),因此具有出色的抗腐蚀性和抗腐蚀性气体特性。
VAT 26.4镀膜机用气动角阀
常作为镀膜机或高精密真空仪器前级真空管路隔断阀。 在低放气率至关重要的环境中,26.4 系列是高真空系统抽气和排气的理想解决方案。其可承受高压差,并配有纹管封装的馈通件,适用于对粒子敏感的应用。波纹管封装还可以防止任何阀门位置出现压力峰值。
VAT 22.0稀释制冷机用隔膜阀
隔膜阀系列是多功能阀门。该阀门可用于满足粗抽/前级管路隔离或粗略计量要求,操作可靠且几乎无需维护,占地面积非常小,易于系统集成,拥有方便的计量机构。它既可用于气体,又可用于液体。 隔膜阀基于隔膜原理,具有高导电性,机械部件与介质完全隔离。它配有耐用的氟橡胶隔膜,可根据需要轻松更换该隔膜。 隔膜阀已经安装在数千个各种工艺条件下的要求 苛刻的应用中,证明了其卓越的可靠性。作为一种可满足不同工艺需求的通用阀门,它已成为多用途要求的标准。
AVENTICS换向阀
用于进口MBE设备真空气动阀门等换向阀的更换配件
VACGEN微调漏阀
全金属泄漏阀采用Mallory®密封垫片,相较于可能开裂导致系统真空失效的蓝宝石阀座,其密封性能更优。该阀适用于需实现重复性精准气体流量控制的场景,是系统制造商实现可靠、经济的超精细气体进口控制的首选方案。
LESKER真空蝶阀
不锈钢真空蝶阀,用于粗真空、旁路、前级管路中 高流导、快速开启和节流功能
机械泵入口隔离阀
当系统突然或意外断电时,可以有效防止系统暴露大气。 阀门为常闭阀,通电时打开,断电时关闭,保护系统部件不受损坏。
CF真空手动角阀
用于CF管路的隔断,波纹管密封。
KF真空手动角阀
用于KF真空管路的隔断,波纹管密封。