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VACGEN微调漏阀
全金属泄漏阀采用Mallory®密封垫片,相较于可能开裂导致系统真空失效的蓝宝石阀座,其密封性能更优。该阀适用于需实现重复性精准气体流量控制的场景,是系统制造商实现可靠、经济的超精细气体进口控制的首选方案。
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